EDS是利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析，EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的，这两者的结构完全不同，EDS是能谱分析，EDX是荧光分析，EDXRF是能量色散型荧光X射线，目前有害物质分析仪和一些镀层厚度分析仪利用此原理，EDX指的是能量散射型X射线荧光光谱仪，也有人叫EDXRF，EDS是能谱仪，XRF是比EDS更准确的定量。